研究環境・技術・設備

よいアイデアを実現するためには、研究環境・技術設備も大切だと考えています。

面白い研究を行うために、これからも研究環境・技術設備をどんどん充実していきたいと思っています。


研究環境

のびのびとした研究環境の中で、メンバーが十分に力を発揮できるように、ひとりひとりに十分なスペース、研究資源が行き渡るようにしています。










また研究グループ内だけでなく、外部の共同研究グループ(東北大学グループ、理化学研究所グループ、東京大学グループ、ルール大学ボーフムグループ、カリフォルニア大学サンタバーバラグループ・・・)との協力環境の中で研究を進めています。







研究技術

私たちの研究グループはナノデバイスの作製、測定について最先端の技術を持っています。

現在持っている技術は次の通りです。

大分類項目技術内容
試料作製フォト・電子線リソグラフィー10nmスケールレベルまでのパターニング
 エッチング・ 各種金属成膜GaAs, InAs, Si等のエッチング
Ti, Au, Co, SiO2, Al2O3等の成膜
 SEM, AFM等を用いた試料観察SEM、AFMを使った微細構造試料の観察
低温希釈冷凍機等の運転、保守ウェットタイプ希釈冷凍機、無冷媒希釈冷凍機、1K冷凍機、パルスチューブ冷凍機等の運転、保守
 超伝導磁石の運転15Tマグネットまでの運転
 各種寒剤の取扱
液体窒素、液体ヘリウム等の取扱
 冷凍機、超伝導磁石等の作製1K冷凍機、4Kテストインサート、4T超伝導磁石等の製作
旋盤、フライス、放電加工、ロウ付け等
試料測定低温下での低ノイズ高感度伝導測定極低温下でのfA, nVオーダーの電流、電圧測定
ロックインアンプ等を用いた信号検出
 高周波技術極低温環境への高周波の導入
40GHzまでの高周波を使った測定 
高周波反射測定による高感度、高速測定
 各種電子機器の製作低ノイズ高感度計測機器の製作
極低温高周波部品(低温アンプ、バイアスティー等)の製作
高周波回路系の製作
プログラミング測定の自動化Python, Igor, LabViewを用いた測定の自動化
 解析Python, Igorを用いた解析の自動化
 CADVectorworks, AutoCADを用いたデバイス、実験装置、実験室設計
 半導体デバイスのシミュレーション3次元Poisson-Schrödingerソルバーを用いた半導体デバイスの3次元解析
 機器組み込みプログラムAVRマイコンを用いた計測器製作


研究設備

私たちの研究グループはナノデバイスの作製、測定に必要な最先端の設備を持っています。

試料作製設備:

東北大学、理化学研究所等の最先端微細加工装置を駆使してナノデバイスの作製を行っています。









低温環境設備:

繊細な電子状態をノイズの少ない低温環境下で測定するために、最新鋭無冷媒希釈冷凍機、ヘリウム冷凍機等の低温環境設備を保有しています。

また共同研究グループと協力して理化学研究所等の大型低温環境設備を利用した研究も行っています。




試料測定設備:

ナノデバイス中の単一電荷、スピン等の微小信号を高速で測定するために、各種電子計測器、高周波機器を保有しています。

また独自の低ノイズ高速測定系等も開発しており、ナノデバイスにおける世界最先端の高感度・高速電気測定を実施しています。